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알곤(Ar)가스 정제설비
나노입자 생산용 플라즈마 발생 장치에서 사용 후 버려지는 알곤 가스 중 윤활오일 및 입자제거 후 재활용하기 위하여 알곤 가스정제설비를 적용하였다.
플라즈마 발생 후 다량의 오일과 분질을 함유한 알곤 가스를 압축 냉각 후 전처리 과정을 통과 후 입자제거 및 활성탄을 이용한 오일을 5ppm 이하로 제거하여 알곤 순도 99.9%이상 고순도로 만들기 위한 설비이다.